（公財）長野県産業振興機構では、県内企業の産学官連携研究開発を支援するため、ものづくり基盤技術及びサービスの高度化を図ることを目的として、研究開発や販路開拓を支援する経済産業省の補助事業「成長型中小企業等研究開発支援事業（以下「Go-Tech事業」という。）」の活用を進めております。今回、令和４年度のGo-Tech事業へ事業管理機関として応募した研究開発が採択となりました。

研究開発計画名

大口径（300mm）ウェハに対応した高耐熱性めっき技術の開発

研究の概要

車載向けを中心に需要の増加が見込まれるパワー半導体には電力損失を少なくし、電力効率を向上することが要求される。そのためには低抵抗で放熱性の良い材料であるＣｕクリップやＣｕワイヤーを実装するが、放熱性が良いゆえに実装温度が高くなり、めっきにクラックが発生する。低リンＮｉ／Ｐｄ／厚付けＡｕめっきを用いた耐熱性の高いめっきを安定的に施すための技術確立を３００ｍｍウェハにて達成し事業化を目指す。

事業管理機関

公益財団法人長野県産業振興機構

主たる中小企業者等

大和電機工業株式会社

連携している大学・公設試等

国立大学法人信州大学、長野県工業技術総合センター

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